1. 产品定位

• 型号特殊性：".5H"后缀通常表示该型号为 高精度改良版，在基础CFD-500系列上优化了成膜均匀性

• 行业应用：半导体设备部件/医疗器械金属件等 超高洁净度要求 领域

   

  2. 化学特性

  项目	参数
  基础油类型	全合成酯类（生物降解率>80%）
  添加剂体系	不含亚硝酸盐/磷酸盐
  pH值（稀释后）	7.2±0.5（中性温和配方）
  电导率	<5μS/cm（不影响电子元件）

   

  3. 特殊工艺适配性

  • 真空环境适用：饱和蒸气压<0.1Pa（20℃）

  • 激光焊接兼容：油膜在1064nm波长下透光率>92%

  • 二次加工性：可直接进行PVD镀膜处理（附着力达ASTM D3359 4B级）

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  4. 应用案例

  • 晶圆载具：防止铝合金氧化导致的微粒脱落

  • 手术器械：高温灭菌后的即时防锈保护

  • 光刻机部件：铜合金导轨的长期储存防护