P-Fluorovac 9704
产品名称:全氟王 P-Fluorovac 9704 高纯 PFPE 真空润滑流体品牌:全氟王(PFPE KING®)产品定位:P-Fluorovac 9704 专为高真空涡轮分子泵、半导体真空设备开发,1:1 直接替换原厂油品,无需改动设备油路、无需调整运行参数,可直接加注混用替换。本品采用高纯度线型全氟聚醚(PFPE)基础油精制而成,不含添加剂、低析出、低放气,完美匹配真空腔体、分子泵严苛洁净工况,解决腐蚀工艺气体、高温长期运行、真空返流污染等痛点。
1:1 完全互换替代P-Fluorovac 9704 粘度、蒸气压、温域特性与原装油品高度匹配,新旧油可直接替换加注,停机换油或在线更换均可,无需工艺验证整改。
超低挥发、低真空返流深度精馏去除轻质组分,高真空工况下油雾返流少,避免晶圆、光学元件、精密腔体污染,降低不良率。
超强化学惰性分子结构仅含 C-F-O,无活泼碳氢键,接触蚀刻、沉积等腐蚀性工艺气体不会分解、碳化、产生油泥,延长真空泵保养周期。
宽温稳定、长效润滑低温启动顺畅不凝固;持续高温运行不易裂解积碳,减少频繁换油频次,降低运维成本。
供应链稳定、交付可控全氟王国内工厂量产,常备现货,规避进口货期长、价格波动、断供风险,支持试样测试、批量稳定供货。
✅ 涡轮分子真空泵、复合分子泵专用真空工作液✅ 半导体 PVD/CVD、刻蚀设备真空机组✅ 镀膜设备、光学真空腔体、质谱分析仪器✅ 接触腐蚀性气体、氧化性介质的真空系统✅ 科研实验室高真空设备、洁净室真空动力单元
替换操作:排空原有油品,建议清洁泵腔后加注 P-Fluorovac 9704;应急工况可直接补油逐步完成替换。
储存条件:密封避光常温存放,避免水汽、粉尘混入;严禁与烃类润滑油、酯类油品混合。
包装规格:1L / 罐、5L / 桶、20L / 桶(可按需定制分装)。
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P-GPL 102
P-UNIFLOR...
P-143AZ
P-1531XP
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一、产品概述
产品名称:全氟王 P-Fluorovac 9704 高纯 PFPE 真空润滑流体
品牌:全氟王(PFPE KING®)
产品定位:P-Fluorovac 9704 专为高真空涡轮分子泵、半导体真空设备开发,1:1 直接替换原厂油品,无需改动设备油路、无需调整运行参数,可直接加注混用替换。
本品采用高纯度线型全氟聚醚(PFPE)基础油精制而成,不含添加剂、低析出、低放气,完美匹配真空腔体、分子泵严苛洁净工况,解决腐蚀工艺气体、高温长期运行、真空返流污染等痛点。
二、核心理化性能指标
三、产品核心优势
1:1 完全互换替代P-Fluorovac 9704 粘度、蒸气压、温域特性与原装油品高度匹配,新旧油可直接替换加注,停机换油或在线更换均可,无需工艺验证整改。
超低挥发、低真空返流深度精馏去除轻质组分,高真空工况下油雾返流少,避免晶圆、光学元件、精密腔体污染,降低不良率。
超强化学惰性分子结构仅含 C-F-O,无活泼碳氢键,接触蚀刻、沉积等腐蚀性工艺气体不会分解、碳化、产生油泥,延长真空泵保养周期。
宽温稳定、长效润滑低温启动顺畅不凝固;持续高温运行不易裂解积碳,减少频繁换油频次,降低运维成本。
供应链稳定、交付可控全氟王国内工厂量产,常备现货,规避进口货期长、价格波动、断供风险,支持试样测试、批量稳定供货。
四、典型应用场景
✅ 涡轮分子真空泵、复合分子泵专用真空工作液
✅ 半导体 PVD/CVD、刻蚀设备真空机组
✅ 镀膜设备、光学真空腔体、质谱分析仪器
✅ 接触腐蚀性气体、氧化性介质的真空系统
✅ 科研实验室高真空设备、洁净室真空动力单元
五、使用说明
替换操作:排空原有油品,建议清洁泵腔后加注 P-Fluorovac 9704;应急工况可直接补油逐步完成替换。
储存条件:密封避光常温存放,避免水汽、粉尘混入;严禁与烃类润滑油、酯类油品混合。
包装规格:1L / 罐、5L / 桶、20L / 桶(可按需定制分装)。