一、产品基础信息

1. 基础原料：高纯 PFPE 全氟聚醚基础油 + 专用 XP 抗磨防锈可溶性氟系添加剂，无碳氢、无硅、无重金属杂质

2. 外观：浅琥珀色透明液体，无异味，存放久轻微变色属正常现象

3. 产品定位：半导体专用高真空氟化真空泵油，带防锈抗磨增效配方，国产平替进口 产品

4. 保质期：未开封 3 年，开封后建议 6 个月内用完

二、核心理化参数

三、五大核心性能优势

1. 真空极低挥发，不污染晶圆饱和蒸气压极低，半导体腔体、镀膜机长期运行无油蒸汽析出，不会污染芯片、光学镜片，适配百级无尘车间。

2. XP 增效抗磨 + 长效防锈独有可溶性氟系添加剂，真空泵叶片、轴承大幅降低磨损；潮湿水汽工况下形成防锈膜，杜绝泵体锈蚀，延长真空泵维保周期。

3. 全介质兼容无腐蚀适配不锈钢、铝合金、氟橡胶、PTFE 等密封件，不溶胀、不分解塑胶密封。

4. 强化学耐受，适配腐蚀工艺可接触等离子蚀刻、酸碱清洗、含氟气体工艺，不会被腐蚀分解，无油泥积碳。

5. 宽温稳定，启停流畅低温 - 30℃真空泵启动阻力小；182℃长期高温不大量挥发流失，真空泵极限真空稳定不衰减。

四、适用行业与设备场景

1. 半导体晶圆制造

干式 / 油式氟化真空泵、等离子蚀刻机、PVD/CVD 镀膜腔体、离子注入设备真空机组。

2. 光学 & 精密镀膜

光学镜片真空蒸镀、实验室高真空分析仪器、电子显微镜真空泵。

3. 化工腐蚀真空设备

强酸碱蒸馏真空机组、氯气 / 氟化物回收真空泵、电镀腐蚀真空槽配套泵。

4. 航空航天真空测试

高低温真空环境试验箱、氧气系统真空密封泵。

5. 锂电 / 新能源真空工艺

锂电池真空烘烤、注液真空机组，耐受电解液有机溶剂。

五、使用禁忌与注意事项

1. 混用严禁：不可与矿物真空泵油、普通硅油、其他无添加剂 PFPE 油混合，混用会破坏添加剂体系，失去防锈抗磨效果；换油前需彻底排空、清洗泵腔。

2. 温度上限：不可长期超过 182℃连续运行，高温会加速添加剂消耗、缩短油品寿命。

3. 活泼金属限制：避免长期接触金属钠、钾等强还原性碱金属，会发生轻微反应。

4. 食品场景：含功能性添加剂，不推荐食品医药直接接触产品工况，食品级选无添加基础款。

六、包装规格

标准：1L 金属密封瓶；工业大包装 5kg/20kg 铁桶，支持 50g/100g 小分装试样。