产品概述
产品名称：全氟王 P-Fluorovac 9704S 高纯 PFPE 真空润滑流体
品牌：全氟王（PFPE KING®）
产品定位：P-Fluorovac 9704S 专为高真空涡轮分子泵、半导体真空设备开发，1:1 直接替换原厂油品，无需改动设备油路、无需调整运行参数，新旧油可直接替换加注。
采用多级精馏高纯线型全氟聚醚（PFPE）基础油，低析出、极低放气，适配真空腔体、分子泵洁净工况，抵御腐蚀工艺气体，抑制高温返流污染。
核心优势
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1:1 完全互换替代
P-Fluorovac 9704S 粘度、蒸气压、温域特性与原装油品高度匹配，可停机完整更换，也支持应急补油逐步替换。 -
超低挥发、抑制真空返流
深度脱除轻质组分，高真空工况油雾返流少，保护晶圆、光学元件，降低制程污染不良。 -
优异化学惰性
分子结构稳定，耐受卤素、强酸、强氧化剂、各类活性工艺气体，长期运行不易分解积碳。 -
宽温稳定、洁净低出气
满足 ASTM E595 低出气标准，适配无尘半导体产线；低温启动顺畅，长期高温工况稳定长效。 -
国产现货稳定供货
规避进口货期紧张、价格波动风险，支持试样测试、批量稳定采购。
典型应用
✅ 涡轮分子真空泵、复合分子泵专用真空工作液
✅ 半导体 PVD/CVD、等离子刻蚀真空机组
✅ 光学镀膜设备、高真空分析仪器腔体
✅ 接触腐蚀性工艺气体的洁净真空系统
