产品概述
产品名称：全氟王 P-TORR 5361 高纯 PFPE 真空润滑流体
品牌：全氟王（PFPE KING®）
产品定位：P-TORR 5361 中粘度线型全氟聚醚真空流体，1:1 直接替换进口同规格真空油品，无需调整设备运行参数，新旧油品可直接替换加注。
采用多级精馏 + 超滤净化工艺，极低微粒含量，低 TML、低 CVCM，严格符合 ASTM E595 真空低出气规范；分子结构稳定，耐受各类卤素、等离子、氧化性工艺气体，专为半导体洁净高真空工况开发。
核心优势
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1:1 无改动互换替代
P-TORR 5361 粘度、饱和蒸气压、温域特性与原装油品高度匹配，原有润滑方案无需改动，试样切换便捷。 -
超低出气、超高洁净等级
深度脱除轻质组分，真空环境挥发与可凝挥发物极低，有效避免晶圆、光学元器件污染，保障半导体产线良率。 -
极强化学惰性，热稳定性优异
仅含 C-F-O 饱和分子链，本质不可燃；长期接触腐蚀工艺气体不易分解、不结焦、不产生油泥。 -
优异材料兼容性
兼容不锈钢、铝合金、PTFE、PEEK、氟橡胶、各类工程塑料，不会造成密封件溶胀、塑胶应力开裂。 -
宽温长效稳定
高低温区间粘度变化平缓，低温启动流畅，长期高真空工况挥发损耗低，延长设备维保周期。 -
国产稳定供货
解决进口货期紧张、价格波动、断供风险，支持小批量试样、长期批量稳定供货。
典型应用场景
✅ 半导体刻蚀、PVD/CVD、离子注入设备真空腔体、真空轴承
✅ 洁净室涡轮分子泵、真空阀、真空传动机构润滑
✅ 接触等离子、卤素、强氧化性工艺气体的高真空系统
✅ 航天模拟真空舱、科研质谱仪器、高真空分析设备
使用说明
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替换建议：优先排空旧油并清洁腔体后加注 P-TORR 5361；短期应急工况可逐步补油完成替换。
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储存要求：密封避光常温存放，隔绝水汽、粉尘；严禁与矿物油、酯类、合成烃润滑油混合。
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包装规格：1L / 罐、5L / 桶、20L / 桶，支持定制分装。
