产品中心

基础信息

• 产品类型：超超高真空级 PFPE 全氟聚醚润滑脂

• 基础油：深度脱轻组分高纯 PFPE 全氟聚醚真空级油

• 稠化剂：高纯超细 PTFE 聚四氟乙烯粉末

• 外观：乳白色均匀脂膏

• 工作温度：‑35℃ ~ +260℃

• NLGI 稠度：NLGI 2 号

• dmN 值：30×10⁴，适配中低速轴承工况

• 对标原厂料号：HT‑1118

• 标准包装：1kg 罐装

核心特性

1. 超极低蒸气压、极致低出气，专门针对超超高真空环境精制，可最大限度减少腔体内部析出物，避免晶圆、光学镜片、精密器件被油气污染。

2. 宽温域高温稳定，持续使用温度 260℃，高温不易分解、结焦积碳，实现设备长周期补脂周期。

3. 化学完全惰性，耐强酸、强碱、有机溶剂、等离子环境、各类腐蚀性工艺气体，不被介质溶解冲刷。

4. 橡塑材料兼容性优秀，对绝大多数橡胶、FKM 氟橡胶、工程塑料无溶胀、无侵蚀损伤。

5. NLGI2 号标准稠度，粘附力强，抗离心甩脂；适合手工填脂、注脂枪加注。

典型应用

1. 半导体制造设备：溅射镀膜设备、刻蚀设备、真空腔内部轴承、门阀、插板阀运动副。

2. 精密真空仪器：电子显微镜、真空冶金设备、超高真空腔体滑动与旋转部件。

3. 无尘室高真空自动化设备、分子泵、真空泵轴承、密封组件。

4. 各类高真空 O 型圈、油封密封件润滑防护。

5. 既要 260℃高温，又严格限制出气污染的工况。

使用注意

• 严禁和锂基脂、矿物油、合成油脂混用，一旦混用会造成出气量急剧飙升，直接破坏超高真空环境。

• 零部件必须使用溶剂彻底清洗、烘干，完全清除旧油脂杂质后再填脂。

• 超高真空工况执行薄涂原则，仅涂抹形成完整油膜即可，过量涂抹会增加出气风险。