基础组成
- 成分:高纯全氟聚醚 PFPE 直链氟油,无 PTFE 粉末、无其它稠化剂
- 外观:清澈透明无色液态油
- 类型:真空级全氟聚醚润滑油,无闪点、不可燃,极低释气、极低饱和蒸气压
关键技术参数
- 使用温度:‑40 ℃ ~ +280 ℃,短时峰值 300℃
- 40℃运动粘度:≈1200 mm²/s
- 密度(20℃):≈1.80 g/cm³
- 饱和蒸气压:极低,高真空环境挥发极少,减少腔体返油、油雾污染
- 倾点:‑40℃
- 特性:热氧化高度稳定;化学惰性极强;耐强酸、强碱、强氧化剂、富氧环境;兼容碳钢、不锈钢、氟橡胶、多数工程塑料;真空下低出气,不易污染晶圆、光学组件;不裂解、不结焦积碳
核心优势
- 超高真空低挥发:极低蒸气压,高真空腔体中挥发损失小,抑制油雾返流,避免污染工件、光学镜片、晶圆,提升良率,减少腔体清洗频次
- 极端化学耐受性:耐受腐蚀性工艺气体、氧化剂、纯氧工况,油品不会被介质分解破坏
- 宽温域稳定:‑40℃低温不凝固,高温 280℃不易裂解,热老化寿命长
- 材料兼容性优异,对氟橡胶、金属几乎无侵蚀;适合半导体、镀膜设备密封、轴承、泵体
- 可作为基础油调配分散液、稀释氟脂,也可直接用于泵、轴承、密封润滑
区分提示:本品是液态油;同系列 9704S 为更高粘度版本;不要和 PTFE 稠化的 PFPE 润滑脂混淆。
典型应用场景
- 半导体设备:真空腔体、真空泵、阀门、密封件、传动机构润滑
- 光学镀膜、溅射设备高真空轴承、转轴、密封部位
- 化工腐蚀工况真空泵、富氧设备、接触强腐蚀介质运动部件
- 科研实验室高真空装置、电子束设备
- 可作为溶剂 / 基础油,调配 PTFE 分散型氟素干膜润滑剂
包装与施工
- 常规包装:100ml、500ml、1L 金属瓶;可定制小试样
- 使用方式:浸油、滴油、刷涂;真空泵加注;也可稀释制备分散液
- 配套资料:TDS 技术数据表、MSDS 安全说明书
使用重要提示
- 严禁与矿物油、合成油、其它非氟油品混用;更换油品必须彻底清洗管路、腔体旧油
- 为真空专用油品,不可随意与普通润滑脂直接混合;如需配脂,只能搭配 PTFE 微粉
- 储存密封避光,防止水汽、杂质混入,杂质会大幅恶化真空性能
- 不适合作为普通大气环境高速轴承循环油,优先用于真空、腐蚀环境















