产品总览:定义高真空润滑新标准
在现代高端制造领域,尤其是半导体、真空设备及精密自动化作业环境中,润滑介质的选择直接决定了设备的极限性能与工件的良品率。XYC Fluid 3/6HV 是东莞市小亦虫新材料科技有限公司基于自研核心技术,为高真空与严苛化学环境量身打造的一款全氟聚醚油(PFPE 氟油)。该产品以极低蒸气压与低放气流体特性为核心,彻底解决了传统润滑油脂在高真空环境下挥发污染、粒子析出的行业痛点,为追求极致洁净的制程提供了可靠的国产高端解决方案。
卓越性能:宽温域与超高真空适应性
XYC Fluid 3/6HV 采用线性全氟聚醚主链结构,不含任何固体填料,外观为高纯度无色透明液体。其理化指标专为极限工况调校:在-60℃至200℃的宽温润滑区间内,油品保持稳定的粘度指数与优异的低温启动性。更为关键的是,产品具有极低的饱和蒸气压,在10⁻⁵Pa级别的高真空环境下,放气率极低,能显著缩短真空腔体的抽气时间,并杜绝因油气返流造成的腔体与工件污染。
针对半导体及光学制造场景,该氟油表现出的化学惰性无与伦比。其分子结构被氟原子紧密包裹,化学键能极高,能够耐受强酸、强碱、强氧化剂以及绝大多数有机溶剂的侵蚀,且具备不可燃、无闪点的本质安全特性。这意味着在等离子刻蚀、离子注入等腐蚀性气氛下,XYC Fluid 3/6HV 依然能保持稳定的物理与化学状态,为设备提供持久保护。
核心卖点:洁净润滑与材料兼容的平衡
- 极致低放气,守护真空环境:作为高真空氟油,其极低的饱和蒸气压确保分子不会逸散至真空环境中,有效保护光学元件、晶圆及精密传感器免受分子污染。
- 全氟结构,无惧化学腐蚀:耐受各类化学品,特别适配于洁净室用油的高标准要求,油品本身不析出低分子硅氧烷,避免对产品造成电性能干扰。
- 全寿命润滑,降低运维成本:独特的热氧化稳定性,使油品在长期高温或高剪切应力下不易变质、不易结焦,延长设备保养周期。对大部分工程塑料及普通橡胶具有良好兼容性。
- 国产化替代,供应链强保障:由东莞市小亦虫新材料科技有限公司自主研发生产,突破国际技术壁垒,可依据不同客户的洁净度要求或粘度需求,精准定制理化指标,交期稳定可靠。
特别提示:虽然本品对多数氟橡胶兼容,但在含有特殊添加剂的橡胶密封件场景下,建议批量应用前先行开展材料相容性测试,以确保最佳的密封效果。
应用领域:聚焦高端精密制造
XYC Fluid 3/6HV 专为严苛真空与洁净工况而生,作为半导体润滑油,其应用涵盖半导体前道与后道工艺设备,包括但不限于:高真空腔体内的机械运动部件、真空阀门与闸阀的传动丝杆、各类干式及分子真空泵轴承、洁净自动化机械臂关节、SMT 贴片机精密轴系润滑,以及真空滑动摩擦副的油膜承载。无论是需要长期保持基础真空的静态密封,还是在高加速运转下需避免微颗粒脱落的动态部件,该油品都能提供极致的润滑防护与洁净保障。
使用规范:确保最佳效能的关键
为保持PFPE氟油的卓越性能,正确的换油及储存操作至关重要。操作规范请遵循以下原则:
- 严禁混用:切勿与矿物油、硅油或其他普通合成油混合使用,否则将导致油品性能急剧劣化。
- 彻底清洗:由旧油品切换至 XYC Fluid 3/6HV 时,须排干原有润滑油,并使用专用清洗剂彻底清洁油箱及管路,确保系统无残留杂质。
- 密封避光储存:未开封产品请存放于阴凉干燥处,避免阳光直射。使用过程中应使用洁净专用取油工具,防止水汽、粉尘或异物的混入,以免影响其真空放气性能。
小亦虫新材料科技致力于为高端制造客户提供特种润滑材料一站式服务,XYC Fluid 3/6HV 不仅是一款高性能产品,更是实现设备高产出率与高良率的坚实后盾,助力中国智造稳步升级。

















