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详细内容

产品概述:为极致真空环境而生的国产氟油标杆

在半导体制造、真空镀膜、高端自动化等尖端领域,润滑介质的性能直接决定设备运行的稳定性与产品良率。传统油脂在高真空环境下易挥发、放气,导致腔体污染、光学系统雾化、晶圆缺陷率上升。东莞市小亦虫新材料科技有限公司推出的XYC Fluid 80V 全氟聚醚油(PFPE 氟油),凭借低蒸气压低放气流体特性,专为严苛真空工况设计,为高端制造提供了一款真正具备国际竞争力的国产化真空氟油解决方案。

XYC Fluid 80V 外观为无色透明液体,不含任何固体填料,采用高纯度全氟聚醚基础分子结构。其适用温度区间覆盖-55℃~200℃,在极端温度下依然能保持稳定的泵送性与成膜能力,可满足从低温冷泵到高温工艺腔体的全流程润滑需求。

核心特性:重新定义洁净润滑标准

1. 优异真空性能,守护核心工艺环境
XYC Fluid 80V 具备极低的饱和蒸气压,在真空环境下放气量极少,能有效避免油气分子返流至真空腔体。这使其成为半导体润滑油领域的理想选择,尤其适用于对洁净度极为敏感的晶圆传输机构、静电吸盘及光学部件附近,可显著降低 颗粒污染与分子污染风险,提升设备重复定位精度与工艺一致性。

2. 极致化学惰性,抵抗严苛介质侵蚀
作为全氟聚醚类流体,XYC Fluid 80V 具有极强的化学稳定性,耐受强酸、强碱、强氧化剂及绝大多数有机溶剂,且不可燃、无闪点。在等离子刻蚀、去胶、清洗等腐蚀性气氛中,油品性能不衰减、不交联、不结焦,大幅延长设备保养周期。

3. 宽温域稳定润滑,降低摩擦损耗
得益于PFPE分子链的柔顺性与高键能,XYC Fluid 80V 在-55℃~200℃范围内均能提供稳定润滑膜,避免传统油脂在低温启动时转矩过大、高温易碳化的问题。其优异的抗磨极压性可有效保护真空泵转子、阀门密封面及精密轴承。

4. 材料兼容性广,减少适配风险
产品对工程塑料、普通橡胶 具有良好的兼容性,不会导致密封件溶胀、收缩或硬化。对于涉及氟橡胶(FKM/FPM)的密封场景,建议批量使用前进行材料相容性测试,以确保长期运行可靠性。

典型应用领域:聚焦高洁净与高可靠场景

XYC Fluid 80V 以洁净室用油定位,精准切入以下核心场景:

  • 半导体设备:刻蚀机、薄膜沉积设备(PVD/CVD)、离子注入机的机械泵、分子泵轴承及腔体传动机构润滑。
  • 真空系统组件:真空阀门、真空计、真空法兰密封螺纹、真空滑台及真空滑动摩擦副的润滑与密封。
  • 真空泵维护:适用于各类旋片泵、罗茨泵、涡旋干泵的全氟油替换,有效改善泵油乳化与积碳问题。
  • SMT与精密自动化:贴片机导轨、丝杠、凸轮从动件及洁净环境内的高精度减速机润滑。

无论是在真空腔体内部作为防卡剂,还是在洁净自动化设备中作为长效润滑脂基础油,XYC Fluid 80V 均能表现出低粒子析出、低挥发损失、高化学惰性的卓越综合性能。

使用规范:确保最佳效能与运行安全

为了让油品在严苛工况下发挥持久性能,请严格遵守以下操作规范:

  • 严禁混用:本品严禁与矿物油、普通合成油脂(如硅油、PAO等)混合使用。若设备此前使用非PFPE油品,换油前必须彻底清洗密封腔体、油路及轴承,排空死角残油后,再用洁净溶剂或本品冲洗后方可加注。
  • 密封储存:请在阴凉干燥处密封避光储存,防止水分与杂质侵入。取用工具必须保持洁净干燥,建议使用专用容器或一次性吸管,用后立即密封。
  • 维护周期:定期检查油品颜色与粘度变化,如发现颜色加深或出现悬浮物,应及时更换并排查设备是否存在异常磨损或介质泄漏。
  • 防护建议:操作时建议佩戴丁腈手套,避免长时间皮肤接触。若不慎接触眼睛,立即用大量清水冲洗并就医。

国产替代价值与品质保障

东莞市小亦虫新材料科技有限公司深耕特种全氟聚醚润滑材料领域,拥有自主研发与规模化量产能力。XYC Fluid 80V 作为高端PFPE 氟油,不仅各项理化指标对标国际同类产品,更可根据客户设备工况按需定制粘度、蒸发速率及涂覆工艺,提供灵活的售前技术支持与稳定的供货周期。选择 XYC Fluid 80V,即是选择更低的主机维护成本、更可靠的真空工艺保障,以及真正自主可控的高端润滑供应链。

 

真空腔体、真空阀门、真空泵、半导体设备、洁净自动化设备、SMT 精密轴系、真空滑动摩擦副润滑
上一个:XYC HL 3-150
下一个:XYC Fluid 12/25V

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