XYC OIL 10S 是东莞市小亦虫新材料科技有限公司自主研制的高端中粘度全氟聚醚油(PFPE氟油),专为半导体精密设备、高真空系统及强腐蚀工况打造。作为国产特种润滑材料领域的突破性产品,它深度融合低放气特性、宽温润滑表现与化学惰性,为严苛工业场景提供媲美进口、稳定可靠的润滑解决方案。
一、产品性能:以极致纯净定义高真空润滑
XYC OIL 10S 属于典型的中粘度真空氟油,分子结构仅为碳、氟、氧元素构成的全氟聚醚链段,不含任何固体填料,外观无色透明且质地均匀。其核心优势源于深度提纯工艺——通过多级精馏与杂质脱除,将低沸点组分和挥发性杂质降至极低水平,最终实现低饱和蒸气压与极低放气率。在真空环境下,该油品释放的气体分子数量极少,可有效避免腔体污染、光学镜片雾化及晶圆表面缺陷,切实满足高洁净、低挥发、低粒子析出的半导体级工况要求。
作为一款高性能全氟聚醚油,XYC OIL 10S 在 -55℃~200℃ 宽温域内保持稳定的粘度指数,高低温条件下油膜厚度变化平缓,既能保障低温启动时的顺畅润滑,又能抵御高温工况下的油膜破裂风险。同时,产品具备不可燃、无闪点的特性,高温长期运转环境下不易产生积碳或结焦,极大延长了设备的维护周期,助力真空设备实现长周期稳定运行。
二、核心特点与关键参数:专为苛刻环境设计
- 化学惰性,耐腐蚀能力卓越:分子结构稳定,对强酸、强碱、强氧化剂、各类有机溶剂及腐蚀性气体均表现优异的耐受性,尤其适用化学气相沉积、干法刻蚀、等离子清洗等腐蚀性制程设备。
- 低放气流体,保障真空品质:深度提纯确保极低的饱和蒸气压,在高真空至超高真空系统中放气量极小,不易污染精密工件,是真空设备润滑油中的高洁净之选。
- 宽温润滑,油膜稳定持久:中粘度规格设计兼顾边界润滑与流体动力润滑,-55℃~200℃ 温度区间内粘度变化缓和,启动转矩低,油膜强度高,满足极端温度交变工况的润滑需求。
- 材料兼容性广,适配多样设计:对大部分工程塑料和普通橡胶密封材料兼容性良好,降低选型难度;若涉及氟橡胶密封件,建议在正式应用前开展材料相容性测试,以保障长期密封可靠性。
- 服役寿命长,综合成本更优:化学惰性和抗氧化性能突出,长期运行不分解、不变质,减少换油频次和人工维护成本,为半导体精密设备提供持久稳定的润滑保障。
三、应用领域:覆盖高端制造核心场景
XYC OIL 10S 凭借中粘度全氟聚醚油的独特优势,广泛适用于对洁净度和化学稳定性要求极高的精密装备,尤其推荐用于半导体晶圆制造、真空镀膜、平板显示及光伏生产设备。具体包括以下典型场景:
- 高真空与超高真空系统:适用于高真空腔体、真空阀门、真空泵送系统及真空机械手的轴承润滑,低放气特性确保腔体真空度快速达到并稳定维持。
- 半导体精密设备:可作为光刻机、刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积设备等精密运动机构的润滑介质,避免油雾污染晶圆,助力良率提升。
- SMT 与精密自动化:适用于SMT中速精密轴系、贴片机导轨、机械臂关节等部位,稳定润滑与防腐蚀特性延长设备精度的保持周期。
- 精密轴承与重载摩擦副:适用于中小型重载精密轴承、腐蚀环境中的滑动摩擦副、滚珠丝杠及齿轮传动机构,在潮湿、酸碱气氛下提供可靠防护。
四、使用规范:科学维护,保障极致性能
为充分发挥 XYC OIL 10S 的长效润滑与真空兼容性能,日常使用需遵循以下规范:
- 严禁混用:本品严禁与矿物油、硅油、合成烃或其他普通润滑油脂混用,以免破坏全氟聚醚油分子结构,导致性能急剧劣化。
- 换油清洗:由旧油切换至本品时,应对润滑系统进行彻底清洗,排空残余油品和杂质,确保润滑部位洁净后再注入新油。
- 密封避光储存:产品应密封存放于阴凉干燥处,避免阳光直射及水汽侵入,开封后及时盖紧容器,防止污染。
- 洁净取用:取油工具必须保持清洁干燥,严禁用手直接接触油品,防止汗液、灰尘或水汽混入,确保油品在真空工况下维持最佳性能。
东莞市小亦虫新材料科技有限公司深耕特种全氟聚醚润滑材料领域,依托自主研发体系为全球高端制造客户提供可按需定制理化指标的国产化方案。从半导体精密用油到真空设备润滑油,从基础研发到批量供货,我们以稳定的品质、专业的技术支持和快速响应的供应链,与您共同驱动精密制造的未来。















