- 性能特点：
- 化学稳定性：化学性质极为惰性，不与弹性体、塑料、金属等发生反应。
- 热稳定性：工作温度范围宽泛，可达 - 60℃至 + 200℃，能在极端温度下提供稳定的润滑效果。
- 安全性：不可燃，消除了泵内起火的风险，在氧气系统中使用安全。
- 低蒸气压：具有极低的蒸气压，适用于高真空应用场景。
- 兼容性：与特氟龙氟塑料树脂、Kalrez 全氟弹性体部件、氟橡胶、丁腈橡胶和硅橡胶等具有良好的兼容性。
- 应用领域：
- 半导体工业：能完全满足半导体工业的要求，可用于半导体芯片加工过程中的蚀刻和沉淀等工艺，在这些过程中接触特殊气体和强腐蚀化学物质时，仍能保证操作的安全与可靠。
- 半导体工业：能完全满足半导体工业的要求，可用于半导体芯片加工过程中的蚀刻和沉淀等工艺，在这些过程中接触特殊气体和强腐蚀化学物质时，仍能保证操作的安全与可靠。
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