性能特点
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化学稳定性
- 对强酸（如氢氟酸、浓硫酸）、强碱（如熔融烧碱）、强氧化剂（如液氧、氟气）和腐蚀性气体（如 Cl₂、NF₃）完全惰性，不发生反应或降解。
- 通过德国联邦材料研究与测试所（BAM）的氧气冲击测试（350Bar 压力下无燃烧风险），适用于液氧泵、火箭燃料系统等极端氧气环境。
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热稳定性
- 工作温度范围宽泛，可在 - 60℃至 + 200℃长期使用，短期耐受温度可达 + 300℃，高温下无结焦或积碳。
- 蒸馏工艺优化，高温下挥发损失极低（250℃烘炉测试 21 天挥发 < 2%），延长换油周期。
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高真空性能
- 极低的蒸气压和出气率，在 10⁻⁷torr 级真空环境中仍保持稳定，避免润滑油气化污染晶圆或精密部件。
- 兼容特氟龙、Kalrez 全氟弹性体等密封材料，防止真空泄漏。
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润滑与抗磨损
- 高粘度指数（VI）提供长效润滑膜，减少齿轮、轴承的磨损，Falex 测试中超过设备极限（4500lbs 负荷无卡咬）。
- 分子链吸附在金属表面形成保护涂层，降低摩擦系数，适用于高速运转的真空泵转子。
三、应用领域
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半导体制造
- 高真空镀膜机、离子注入机、刻蚀设备的真空泵油，耐受 Ar、O₂、CF₄等工艺气体腐蚀，确保晶圆加工的洁净度。
- 真空阀门、密封件的润滑与密封，避免颗粒污染和气体泄漏。
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化工与能源
- 氯碱电解槽、氟化工反应釜的密封润滑，抵抗 Cl₂、HF 等强腐蚀介质。
- 液氧泵、LNG 储罐阀门的润滑，符合 NASA 航天标准（MIL-PRF-27617）。
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科研与精密仪器
- 超高真空（UHV）腔室、质谱仪、电子显微镜的真空泵油，确保分析结果的准确性。
- 同步辐射光源、粒子加速器的低温超导磁体轴承润滑，耐受 - 269℃液氦环境。
