基础组成
- 成分：高纯直链全氟聚醚 PFPE，经过超滤除微粒处理，无稠化剂、无添加剂颗粒
- 外观：无色透明粘稠液态
- 类型：真空级 PFPE 油；无闪点、不可燃；超低出气（ASTM‑E595），洁净室等级原料
关键技术参数
- 使用温度：‑65 ℃ ~ +250 ℃，短时峰值 270℃
- 40℃运动粘度：≈140 mm²/s；100℃≈45 mm²/s
- 倾点：‑75℃
- 密度（20℃）：≈1.80 g/cm³
- 饱和蒸气压：极低，高真空下挥发损失小
- 真空出气 TML、CVCM 满足 ASTM‑E595 航天真空测试标准
- 特性：化学高度惰性；耐受腐蚀工艺气体、等离子、强氧化剂；热稳定不裂解不结焦；低微粒；兼容不锈钢、氟橡胶、FFKM、PEEK 等绝大多数金属与高分子材料
核心优势
- 超滤除微粒：去除微观杂质颗粒，减少腔体颗粒污染，适配半导体工艺腔体、洁净室设备
- 超宽温域：‑65℃极低温保持流动，250℃高温不易裂解，适合温度循环剧烈工况
- 极低释气低返油：高真空环境挥发物极少，降低晶圆、光学镜片被油气污染风险
- 强化学耐受性：耐刻蚀气体、等离子、富氧环境，油品不被介质分解
- 可作为复配原料，用来调配真空润滑脂、PFPE 溶剂分散液
典型应用场景
- 半导体设备：刻蚀、沉积、离子注入设备真空部件、转轴、密封、真空泵润滑
- 航天、空间模拟试验舱高真空机构
- 光学镀膜、溅射设备真空转轴、密封部位
- 强腐蚀、等离子环境下的泵、阀门运动副
- 作为基础油调配 PTFE 稠化高真空润滑脂
包装与施工
- 常规包装：100 ml、500 ml、1L 金属密封瓶；可提供试样
- 使用方式：滴油、浸油、刷涂；真空泵加注；复配调配脂类；不可与非氟油品混用
- 配套资料：TDS 技术数据表、MSDS 安全说明书
使用重要提示
- 严禁和矿物油、合成油、非氟油品混用；更换必须彻底清洗腔体、管路、泵腔
- 本品是液态油，不能直接当润滑脂使用；做脂需添加超细 PTFE 微粉
- 密封避光储存，严防水汽、灰尘进入，杂质会直接劣化真空性能
- 真空系统加注前建议做预脱气处理，进一步减少腔体放气
