基础组成
- 成分：高纯直链全氟聚醚 PFPE，无 PTFE、无稠化剂，液态油；经过超滤除微粒处理，洁净室等级原料
- 外观：无色透明粘稠液体
- 类型：真空级润滑油，无闪点、不可燃，满足 ASTM‑E595 低出气要求
关键技术参数
- 使用温度：‑50 ℃ ~ +250 ℃，短时峰值 270℃
- 40℃运动粘度：≈192 mm²/s；100℃≈35 mm²/s
- 倾点：‑53℃
- 密度（20℃）：1.89 g/cm³
- 饱和蒸气压极低；ASTM‑E595 真空低出气；蒸发损失极低
- 特性：化学惰性强，耐受工艺腐蚀气体、氧化剂；对 FFKM、FKM 氟橡胶兼容性优异，降低橡胶硬化、溶胀风险；低微粒、低释气；兼容各类不锈钢、合金钢；不裂解、不结焦积碳
核心优势
- 氟橡胶密封友好：针对 FKM、FFKM 密封圈、静密封做配方适配，做密封预润滑，减少橡胶老化、密封失效，半导体真空腔体密封件常用
- 超滤洁净低微粒：去除微观颗粒杂质，降低晶圆、光学部件颗粒污染风险，适合洁净室环境
- 极低出气、低蒸气压：高真空下挥发少，抑制返油、油雾污染腔体
- 强耐化学介质：耐受刻蚀腐蚀气体、富氧工况，油品不分解
- 可作为基础油调配 PTFE 真空润滑脂、真空分散液
典型应用场景
- 半导体设备：真空腔体 FKM/FFKM 密封圈预润滑、真空阀门、转轴、密封面（主打场景）
- 镀膜、溅射设备密封件、低速真空转轴
- 航天模拟高真空装置，低出气要求部件
- 接触腐蚀性工艺气体、氧化剂的真空泵体、密封部位
- 作为基础原料复配真空级 PFPE 润滑脂
包装与施工
- 常规包装：100ml、500ml、1L 金属密封瓶；可提供试样
- 使用方式：薄涂、滴油、密封面浸润预润滑；不可直接做重载轴承循环油
- 配套资料：TDS 技术数据表、MSDS 安全说明书
使用重要提示
- 严禁与矿物油、合成油、非氟油品混用；更换必须彻底清洗腔体、密封件、管路
- 本品是纯液态油，不能直接当润滑脂使用；制脂需添加超细 PTFE 微粉
- 密封避光储存，严防水汽、灰尘杂质进入，杂质直接劣化真空性能
- 低温性能弱于 TORR‑5301，‑50℃以下环境优先选用 TORR‑5301
