基础组成
- 成分：高纯直链全氟聚醚 PFPE，超滤多级除微粒，无 PTFE、无固体稠化剂，纯液态油
- 外观：无色透明粘稠液体
- 类型：超高真空级润滑油；无闪点、不可燃；ASTM‑E595 出气 TML、CVCM 趋近于零，洁净室等级原料。
关键技术参数
- 使用温度：‑65 ℃ ~ +250 ℃，短时峰值 270℃
- 40℃运动粘度：≈187 mm²/s
- 倾点：‑72℃
- 密度（20℃）：≈1.81 g/cm³
- 饱和蒸气压：极低，超高真空下挥发损失极小
- 真空出气：TML≈0.00 wt%，CVCM≈0.000 wt%，属于 TORR 系列出气表现最优等级之一
- 特性：化学高度惰性，耐受刻蚀腐蚀气体、等离子、富氧环境；热稳定不裂解、不结焦；低微粒；对 FKM/FFKM、PEEK、各类不锈钢兼容性优异。
核心优势
- 行业顶级低出气性能：ASTM‑E595 测试 TML、CVCM 几乎为零，最大程度减少真空腔体有机析出污染，适配对分子污染零容忍的晶圆、光学器件工况。
- 超宽低温性能：‑65℃仍保持良好流动性，适合深冷温度循环、空间模拟设备。
- 超滤洁净低颗粒：多级超滤去除微颗粒，降低半导体工艺腔体颗粒缺陷风险。
- 强化学耐受性：耐受等离子、腐蚀性工艺气体、氧化剂，油品不分解劣化。
- 专用复配基础油：用于调配 XYC‑TORR 6300 / 6300S 真空全氟聚醚润滑脂，也可直接用于部件润滑。
典型应用场景
- 半导体设备：超高真空阀门、微小密封缝隙、腔体密封预润滑，刻蚀、沉积设备对出气有极致要求部位。
- 航天、空间环境模拟舱，需要满足 ASTM‑E595 标准的机构部件。
- 镀膜、电子束设备，禁止油气析出污染光学元器件。
- 作为基础油，生产 TORR‑6300 系列真空润滑脂。
包装与施工
- 常规包装：100ml、500ml、1L 金属密封瓶；可提供试样装
- 使用方式：薄涂、滴油、密封面预浸润；仅作液态润滑油；不能直接当润滑脂使用，制脂需要添加超细 PTFE 微粉。
- 配套资料：TDS 技术数据表、MSDS 安全说明书，可提供批次 ASTM‑E595 真空出气报告。
使用重要提示
- 严禁与矿物油、合成油、非氟油品混用；更换介质必须彻底清洗腔体、管路、密封件。
- 密封避光储存，严防水汽、灰尘杂质进入，杂质会直接劣化真空与出气性能。
- 不适合高速大流量循环泵，多用于静态、低速、密封、阀门部位。
