基础组成
- 成分：高纯直链全氟聚醚 PFPE，多级超滤除微粒，无 PTFE、无固体稠化剂，纯液态油
- 外观：无色透明粘稠液体
- 类型：超高真空级润滑油；无闪点、不可燃；满足 ASTM‑E595 NASA 航天真空出气标准，洁净室原料等级。
关键技术参数
- 使用温度：‑80 ℃ ~ +250 ℃，短时峰值 270℃
- 40℃运动粘度：≈200 mm²/s；100℃≈48 mm²/s
- 倾点：‑80℃
- 密度（20℃）：≈1.82 g/cm³
- 饱和蒸气压：极低，超高真空环境挥发损失极小
- 真空出气：TML≈0.06 wt%，CVCM≈0.008 wt%
- 特性：化学高度惰性，耐受刻蚀工艺气体、等离子、富氧环境；热稳定不裂解、不结焦；超低微粒；对 FKM/FFKM、PEEK、各类不锈钢兼容性优异。
核心优势
- 极致超低温性能：‑80℃仍保持良好流动性，适配航天空间模拟、深冷温度循环工况。
- 航天级低出气：ASTM‑E595 测试满足 NASA 标准，最大程度减少真空腔体有机析出污染。
- 化学耐受性强：耐受等离子、腐蚀工艺气体、纯氧工况，油品不易分解。
- 超滤洁净等级：去除微观颗粒杂质，降低晶圆、光学器件颗粒污染风险。
- 作为基础油调配XYC‑TORR 6350EL 重载型真空润滑脂。
典型应用场景
- 航天设备、空间模拟舱超高真空部件、转轴、密封。
- 半导体刻蚀、沉积设备，要求深冷温度循环的真空机构。
- 镀膜、溅射设备低温‑高温交变工况下转轴、密封面。
- 接触强腐蚀工艺气体、等离子环境的泵体、阀门密封。
- 复配制备 TORR‑6350EL 重载真空全氟聚醚润滑脂。
包装与施工
- 常规包装：100ml、500ml、1L 金属密封瓶；可提供试样
- 使用方式：滴油、薄涂浸润密封面；真空泵加注；用于调配真空润滑脂；不可与非氟油品混兑
- 配套资料：TDS 技术数据表、MSDS 安全说明书
使用重要提示
- 严禁与矿物油、合成油、非氟油品混用；更换介质必须彻底清洗腔体、管路、密封件。
- 本品为纯液态油，不能直接作为润滑脂使用；制脂需添加超细 PTFE 微粉。
- 密封避光储存，严防水汽、灰尘杂质进入，杂质会劣化真空性能。
- 用于真空系统建议预先脱气处理，进一步降低腔体放气。
