XYC Fluid 6/14HV 是东莞市小亦虫新材料科技有限公司推出的高端全氟聚醚油,属于 PFPE 氟油,专为半导体、真空设备及精密自动化场景开发。产品不含固体填料,外观无色透明,具备极低蒸气压、低放气与化学惰性,在严苛工况下提供稳定的宽温润滑保护。依托国产化研发与稳定供货体系,可替代进口同类产品,并支持理化指标定制。
产品性能
XYC Fluid 6/14HV 的分子主链由全氟聚醚结构构成,不含固体填料,外观为无色透明液体,从源头上规避了固体颗粒可能引起的污染风险。适用温度区间为 -60℃~200℃,在宽温范围内保持稳定的粘度和油膜完整性,展现出色的宽温润滑能力。专为高真空工况设计,饱和蒸气压极低,是典型的低放气流体;即使长时间抽真空或高温运行,油气挥发也极少,不会污染真空腔体、光学元件、晶圆等精密工件,有助于维持极限真空度。
化学耐受性方面,产品具备极强的化学惰性,对强酸、强碱、强氧化剂及绝大多数有机溶剂均保持稳定,且不可燃、无闪点。与大部分工程塑料、普通橡胶兼容性良好,可减少密封系统故障;但含氟橡胶密封件时,建议批量应用前开展材料相容性测试。
核心特点
- 极低蒸气压,真空度更稳定。分子挥发极少,有效避免背压升高与分子污染,是高真空氟油应用中的理想选型。
- 低放气,洁净运行。作为低放气流体,可抑制颗粒析出与凝缩性污染物生成,满足洁净室用油要求,保护敏感工艺。
- 化学惰性,超强耐腐蚀。耐受强酸、强碱、强氧化剂及常见化学溶剂,不可燃、无闪点,提升设备运行安全性。
- 宽温润滑,适应复杂工况。在 -60℃~200℃ 区间保持稳定润滑性能,适用于冷热交替及高温真空环境。
- 材料兼容性良好。与多数工程塑料、普通橡胶兼容,降低密封系统更换频率;氟橡胶场景需按规范评估。
- 国产化定制支持。可依据设备工况调整理化指标,提供稳定供货,助力高端制造企业降低进口依赖。
应用领域
XYC Fluid 6/14HV 广泛应用于高真空腔体、真空阀门、真空泵、半导体设备、洁净自动化设备、SMT 精密轴系以及真空滑动摩擦副的润滑,典型场景包括:
- 半导体沉积、刻蚀、离子注入等设备的真空传动部件润滑;
- 光学镀膜及晶圆传输系统等对污染高度敏感的真空工位;
- 洁净室内自动化机械臂、导轨与精密轴承;
- SMT 产线中的精密轴系和真空吸附机构;
- 其他要求低放气、低粒子析出的高真空或超高真空场合。
凭借极低蒸气压与低放气特性,XYC Fluid 6/14HV 能显著减少真空系统中的有机污染,提升制造工艺良率与一致性,是值得信赖的半导体润滑油。
使用规范
为充分发挥 XYC Fluid 6/14HV 的稳定性能,使用时应严格遵守以下规范。严禁与矿物油、普通合成油混用,否则会破坏其化学惰性并导致润滑失效;在换油或首次加注前,需对系统进行彻底清洗,清除旧油及清洗剂残留。
- 密封避光储存。存放于原装密封容器中,置于阴凉干燥环境,防止杂质、水汽混入油品,影响真空使用性能。
- 取用工具洁净。使用专用洁净工具,避免与其它油品或化学品交叉接触。
- 材料兼容性确认。对氟橡胶密封件,建议在正式运行前完成浸泡或接触测试。
- 定期监测真空度。结合设备真空度变化合理制定维护周期,必要时补充或更换油品。
东莞市小亦虫新材料科技有限公司深耕特种全氟聚醚润滑材料多年,可为半导体、真空设备及精密自动化客户提供专业选型建议与理化指标定制服务。选择 XYC Fluid 6/14HV,即是选择稳定、洁净、可靠的长期润滑保障。

















