产品性能:为严苛真空环境而生的全氟聚醚油
XYC Fluid 6/14V氟油是东莞市小亦虫新材料科技有限公司旗下“全氟王 PFPEKING”系列的一款高性能真空氟油。作为全氟聚醚油(PFPE氟油)家族的重要成员,其以全氟聚醚分子链为基础,不含任何固体填料,外观为无色透明液体。产品专为真空工况研制,在-60℃至200℃的宽温区间内保持稳定流动性,兼具低放气、低蒸气压、化学惰性等核心优势,是半导体设备与真空精密制程理想的润滑介质。
相比传统矿物油或合成烃油,PFPE氟油因分子结构中仅含碳、氟、氧元素,主链被氟原子紧密包裹,因此具有极强的化学安定性。XYC Fluid 6/14V氟油能够耐受强酸、强碱、强氧化剂及绝大多数有机溶剂,不可燃、无闪点,在严苛工艺介质中依然保持优秀性能,为设备提供长期稳定的润滑保护。
核心特点
- 极低饱和蒸气压,低放气流体:专为真空工况设计,在高真空环境中放气量少,不易挥发,有效保护真空腔体、光学元件与晶圆等精密工件,避免因润滑介质气化造成工艺污染。
- 宽温润滑,适应复杂工况:适用温度区间-60℃~200℃,低温启动扭矩低,高温蒸发损失小,可在温度波动较大的洁净设备中保持稳定的润滑性能。
- 卓越化学惰性:不腐蚀金属,耐强酸、强碱、强氧化剂,与大部分工程塑料、普通橡胶材料兼容性良好,使用安全性高。氟橡胶场景建议提前进行材料相容性测试。
- 高洁净度表现:不含固体添加剂,挥发性低,粒子析出少,满足洁净室对润滑介质的严苛要求,是典型的洁净室用油。
应用领域:半导体与真空设备的可信选择
凭借出色的真空适应性,XYC Fluid 6/14V氟油广泛应用于需要高真空与高洁净的装备场景,包括但不限于:
- 真空腔体、真空阀门、真空泵的密封与润滑;
- 半导体前道与后道设备,如刻蚀、沉积、离子注入等制程中需要真空润滑的部件;
- SMT精密轴系、真空滑动摩擦副、洁净自动化设备等高端制造场景。
在半导体产线中,设备工程师对低放气、低粒子析出的要求极为苛刻。XYC Fluid 6/14V氟油以极低蒸气压和稳定的化学惰性,帮助设备减少因润滑介质引起的真空度波动与工件污染,降低维护频次,提升综合运行效率。其优异的材料兼容性也降低了密封件因介质侵蚀而失效的风险,是高洁净制程中值得信赖的半导体润滑油。
使用规范:科学维护,确保长效性能
为充分发挥XYC Fluid 6/14V氟油的性能优势,请严格遵循以下使用与储存规范:
- 严禁混用:产品不可与矿物油、普通合成油或其他类型油脂混合使用。换油前需将旧油彻底清洗干净,避免交叉污染。
- 密封避光储存:请将产品存放于洁净阴凉处,保持包装密封,防止杂质与水汽混入。
- 规范取用:取油工具须保持清洁干燥,取用后及时密闭容器,避免空气水分、粉尘进入油品,影响真空使用性能。
- 材料确认:在涉及氟橡胶等特殊密封材料时,建议提前开展材料相容性测试,确认适用后再批量使用。
国产高端润滑,稳定供应
东莞市小亦虫新材料科技有限公司长期专注特种全氟聚醚润滑材料的研发与生产,致力于为高端制造提供国产化解决方案。XYC Fluid 6/14V氟油在品质上对标进口高端产品,同时具备本地化技术响应和稳定供货能力,可根据客户具体应用场景按需定制理化指标,帮助设备制造商与终端用户降低供应链风险,提升竞争力。选择全氟王 PFPEKING,即以可靠性能与专业服务,为您的真空工艺保驾护航。

















