在半导体工艺真空机组、化工腐蚀性气体真空泵、多段式高真空设备运行中,普通润滑油极易出现高温氧化裂解、饱和蒸气压偏高、接触卤素与强氧化剂后油膜破坏等故障,造成腔体污染、泵体磨损、设备频繁停机维护。进口真空专用全氟聚醚氟油性能优异,但供货周期长、采购成本居高不下,供应链存在不确定性,很多制造企业迫切需要稳定可靠的国产替代油品。
全氟王 P‑Fluid 6/14HV 氟油,采用高纯全氟聚醚原料精制而成,分子仅含碳、氟、氧元素,无活泼氢原子,理化指标对标进口同规格 HV 系列真空氟油,设备可直接互换使用,无需改动现有润滑工艺。
为什么高真空腐蚀工况优先选用 P‑Fluid 6/14HV?
产品拥有极低饱和蒸气压,在高真空环境下挥发损耗极低,减少油雾析出,避免污染真空腔体内工件、光学组件,保障真空度稳定输出,适配多级真空泵、分子泵、罗茨泵等设备润滑密封需求。
具备出色热稳定性能,宽温域范围内不易热老化分解,高温环境不易结焦、不生成油泥沉积物,有效延长换油周期,降低设备拆解清洁频次。化学惰性突出,可耐受氧气、卤素、强酸强碱、各类强腐蚀溶剂,接触活性腐蚀介质不会发生反应降解,无闪点、不可燃,富氧及密闭腐蚀工况使用安全可靠。
油品与不锈钢、氟橡胶、PTFE 及多数工程塑料兼容性优异,不会造成密封件溶胀、脆化开裂,保护泵体密封结构,减少渗漏故障。
主要应用在哪些场景?
广泛用于半导体离子注入、等离子处理等高真空工艺真空泵;化工行业输送腐蚀性、氧化性气体的真空设备;科研实验分析仪器真空系统;以及处理卤素、氧气等活性介质的泵阀润滑密封部位。
广东全氟王润滑科技专注 PFPE 全氟聚醚材料研发生产,P‑Fluid 6/14HV 支持多种规格包装,交期稳定,可提供技术参数、样品测试支持,为极端真空腐蚀工况提供高性价比国产化润滑解决方案。

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